楚微半導體
2024-08-06
技術方案：
PCDA線需要高品質(zhì)壓縮空氣：壓力露點-70℃，出口含塵量 ISO 8573-1 1級標準，含油0.01mg/m3以下。
后處理配置方案：冷卻器+粗效過濾器+鼓風熱零氣耗干燥機+粗校過濾器+精密過濾器。冷卻器應用11℃冷凍水與壓縮空氣換熱，將壓縮空氣溫度降低至25℃以下，在經(jīng)過粗效過濾器進入鼓風熱干燥機，將空氣水分去除，以達到-70℃的壓力露點。后經(jīng)一級粗效一級精密過濾器后，達到含塵1級標準，含油0.01mg/m3。
效果：
壓力露點穩(wěn)定運行于-70℃以下（最低至-95℃），含油量穩(wěn)定運行與0.001mg/m3，含塵量滿足ISO 8673-1 1級標準。
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